Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Fachzeitschrift | Journal of Micromechanics and Microengineering |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2009 |
Design and fabrication of freestanding pitch-variable blazed gratings on a silicon-on-insulator wafer
Y. Wang, Y. Kanamori, T. Sasaki, K. Hane
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