Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
---|---|
Fachzeitschrift | Electronics and Communications in Japan |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2012 |
Deformation of varifocal mirror with narrow frame by SOI wafer residual stress
T. Sasaki, K. Hane
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung