Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Fachzeitschrift | Optics Express |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2012 |
Comb-drive tracking and focusing lens actuators integrated on a silicon-on-insulator wafer
P. Li, T. Sasaki, L.F. Pan, K. Hane
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