Comb-drive GaN micro-mirror on a GaN-on-silicon platform

Y. Wang, T. Sasaki, T. Wu, F. Hu, K. Hane

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	undefiniert/unbekannt
Fachzeitschrift	Journal of Micromechanics and Microengineering
DOIs	https://doi.org/10.1088/0960-1317/21/3/035012
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2011

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TY - JOUR

T1 - Comb-drive GaN micro-mirror on a GaN-on-silicon platform

AU - Wang, Y.

AU - Sasaki, T.

AU - Wu, T.

AU - Hu, F.

AU - Hane, K.

PY - 2011

Y1 - 2011

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-79952653680&partnerID=MN8TOARS

U2 - 10.1088/0960-1317/21/3/035012

DO - 10.1088/0960-1317/21/3/035012

M3 - Artikel

SN - 1361-6439

JO - Journal of Micromechanics and Microengineering

JF - Journal of Micromechanics and Microengineering

ER -