Capacitive MEMS Microphone with Low-Stress Ultra-Thin Vibrating Membrane

Lixiang Wu, Quansheng Sun, Gaofeng Wang, Junli Wang

    Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung

    Fingerprint

    Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „Capacitive MEMS Microphone with Low-Stress Ultra-Thin Vibrating Membrane“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

    Erd- und Umweltwissenschaften