BCl3 Plasma Treatment Effect on Ohmic Contact Resistance in GaN-Based High Electron Mobility Transistors

Andrianov Nikolai

    Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung

    Fingerprint

    Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „BCl3 Plasma Treatment Effect on Ohmic Contact Resistance in GaN-Based High Electron Mobility Transistors“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

    Physik & Astronomy