| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2022 |
Al(Sc)N on insulator platform for photonic MEMS
Jasmin Spettel, Marco Liffredo, Hernán Furci, Florian Dubois, Mohssen Moridi, Thang Duy Dao, Luis Guillermo Villanueva
Publikation: Konferenzbeitrag › Poster