AlScN and AlN – based hybrid BAW/SAW resonator with enhanced Q-factor and electromechanical coupling

Vladimir Pashchenko, Fazel Parsapour, Hanspeter Zinn, Paul Muralt

    Publikation: Konferenzbeitrag › Abstract › Begutachtung

    Fingerprint

    Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „AlScN and AlN – based hybrid BAW/SAW resonator with enhanced Q-factor and electromechanical coupling“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

    Physik & Astronomy