A continuous single-crystal-silicon membrane deformable mirror using bimorph spring

T. Wu, T. Sasaki, M. Akiyama, K. Hane

Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel

Originalsprache	undefiniert/unbekannt
Titel	Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
DOIs	https://doi.org/10.1117/12.2002785
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2013

Zugriff auf Dokument

@inproceedings{3e6ab0a9faa640e09416d13157a1fb4e,

title = "A continuous single-crystal-silicon membrane deformable mirror using bimorph spring",

author = "T. Wu and T. Sasaki and M. Akiyama and K. Hane",

year = "2013",

doi = "10.1117/12.2002785",

language = "undefiniert/unbekannt",

booktitle = "Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering",

}

TY - GEN

T1 - A continuous single-crystal-silicon membrane deformable mirror using bimorph spring

AU - Wu, T.

AU - Sasaki, T.

AU - Akiyama, M.

AU - Hane, K.

PY - 2013

Y1 - 2013

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84878147365&partnerID=MN8TOARS

U2 - 10.1117/12.2002785

DO - 10.1117/12.2002785

M3 - Konferenzartikel

BT - Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ER -