Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Titel | International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2014 |
50μm gap 8×8 pixels deformable mirror fabricated by membrane transfer process
T. Wu, T. Sasaki, M. Akiyama, K. Hane
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel