一种梁槽结合台阶式岛膜微压传感器芯片及制备方法

Zhuangde Jiang (Erfinder/-in), Tingzhong Xu (Erfinder/-in), Libo Zhao (Erfinder/-in), Niancai Peng (Erfinder/-in), Jiuhong Wang (Erfinder/-in), Xin Guo (Erfinder/-in), Yu Xu (Erfinder/-in), Guoying Yuan (Erfinder/-in), Yulong Zhao (Erfinder/-in)

    Publikation: Schutzrecht › Patent

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    Ingenieurwesen & Materialwissenschaft