一种支撑梁式mems流体热导率和热扩散系数传感器及其制备和测试方法

Libo Zhao (Erfinder/-in), Xiangxiang Huang (Erfinder/-in), Yong Xia (Erfinder/-in), Tingzhong Xu (Erfinder/-in), Xin Guo (Erfinder/-in), Yunyun Luo (Erfinder/-in)

    Publikation: Schutzrecht › Patent

    Fingerprint

    Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „一种支撑梁式mems流体热导率和热扩散系数传感器及其制备和测试方法“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

    Physik & Astronomy