Tamara Terzic – Publikationen — Silicon Austria Labs

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2023
Vertical etching of Al0.7Sc0.3N for next generation of acoustic wave resonators
Terzic, T., Andrianov, N., Chouiki, M., Solonenko, D., De Pastina, A., Pashchenko, V. & Risquez, S., 2 Okt. 2023, 2023 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP).
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung

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