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2023
C4.4 - Characterization of a Piezo-Resistive MEMS Microphone for Aero-Acoustic Measurements
Erbacher, K., Bourquard, C., Lokesh, O., Wu, L., Mackowiak, P., Schneider-Ramelow, M. & Ngo, H., 2023, S. 171-172.Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung
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Dual-frequency piezoelectric MEMS microphones based on AlSc 30% N thin films for aeroacoustic measurements
Wu, L., Zhai, Y., Lokesh, O., Bourquard, C., Abbaszadeh, J., Andrianov, N., Garcia souto, J. A., Nguyen, T. A. T., Chen, X., Erbacher, K., Ngo, H-D., Sainges, O. & Julliard, E., 8 Juni 2023.Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung