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Dr. Claire Bourquard
SENIOR WISSENSCHAFTLER
,
Piezoelectric Microsystem Technologies (PMT)
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SENIOR WISSENSCHAFTLER
,
Piezoelectric Microsystem Technologies (PMT)
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Papier
C4.4 - Characterization of a Piezo-Resistive MEMS Microphone for Aero-Acoustic Measurements
Erbacher, K.
,
Bourquard, C.
,
Lokesh, O.
,
Wu, L.
,
Mackowiak, P.
,
Schneider-Ramelow, M.
&
Ngo, H.
,
2023
,
S. 171-172
.
Publikation
:
Konferenzbeitrag
›
Papier
›
Begutachtung
Dual-frequency piezoelectric MEMS microphones based on AlSc 30% N thin films for aeroacoustic measurements
Wu, L.
,
Zhai, Y.
,
Lokesh, O.
,
Bourquard, C.
,
Abbaszadeh, J.
,
Andrianov, N.
,
Garcia souto, J. A.
,
Nguyen, T. A. T.
,
Chen, X.
,
Erbacher, K.
,
Ngo, H-D.
,
Sainges, O.
&
Julliard, E.
,
8 Juni 2023
.
Publikation
:
Konferenzbeitrag
›
Papier
›
Begutachtung