Partial etching of Aluminum Scandium Nitride by Ion Beam Etching for next generation of RF MEMS Filter Applications

Aktivität: Präsentation oder VortragVortrag

Zeitraum19 Juni 2023
EreignistitelPESM 2023: Plasma Etch and Strip in Microtechnology
VeranstaltungstypWorkshop
OrtGrenoble, FrankreichAuf Karte anzeigen