Universal software for the real-time control of sequential processing techniques

Julian Pilz, Martin Tazreiter, Anna Maria Coclite

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	Englisch (Amerika)
Fachzeitschrift	Journal of Vacuum Science & Technology A
DOIs	https://doi.org/10.1116/1.5125052
Publikationsstatus	Veröffentlicht - Dez. 2019
Extern publiziert	Ja

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TY - JOUR

T1 - Universal software for the real-time control of sequential processing techniques

AU - Pilz, Julian

AU - Tazreiter, Martin

AU - Coclite, Anna Maria

PY - 2019/12

Y1 - 2019/12

UR - https://doi.org/10.1116/1.5125052

U2 - 10.1116/1.5125052

DO - 10.1116/1.5125052

M3 - Artikel

JO - Journal of Vacuum Science & Technology A

JF - Journal of Vacuum Science & Technology A

ER -