Stress control of silicon membrane for optical scanner with deformable mirror

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	undefiniert/unbekannt
Fachzeitschrift	IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
DOIs	https://doi.org/10.1541/ieejsmas.129.138
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2009

Zugriff auf Dokument

TY - JOUR

T1 - Stress control of silicon membrane for optical scanner with deformable mirror

AU - Sasaki, T.

AU - Hane, K.

PY - 2009

Y1 - 2009

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-67650477088&partnerID=MN8TOARS

U2 - 10.1541/ieejsmas.129.138

DO - 10.1541/ieejsmas.129.138

M3 - Artikel

SN - 1341-8939

JO - IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines

JF - IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines

ER -