Micromolding of Ni-P for the Realization of a 3D Electrostatic Energy Harvesting MEMS

S. Risquez, M. Woytasik, H. Cai, H. Philippe, F. Bayle, E. Lefeuvre, J. Moulin

    Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelBegutachtung

    OriginalspracheEnglisch
    FachzeitschriftECS Transactions
    DOIs
    PublikationsstatusVeröffentlicht - Sep. 2016

    Dieses zitieren