Boron trichloride plasma treatment effect on ohmic contact resistance formed on GaN-based epitaxial structure

A. A. Kobelev, Yu V. Barsukov, N. A. Andrianov, A. S. Smirnov

    Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung

    Fingerprint

    Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „Boron trichloride plasma treatment effect on ohmic contact resistance formed on GaN-based epitaxial structure“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

    Physik & Astronomy