静电-压电混合驱动收发一体化cmut及其使用方法和制备方法

Zhikang Li (Erfinder/-in), Libo Zhao (Erfinder/-in), Jie Li (Erfinder/-in), Yihe Zhao (Erfinder/-in), Guoxi Luo (Erfinder/-in), Tingzhong Xu (Erfinder/-in), Shuaishuai Guo (Erfinder/-in), Zhuangde Jiang (Erfinder/-in)

    Publikation: Schutzrecht › Patent

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    Ingenieurwesen & Materialwissenschaft