一种CMUTs流体密度传感器及其制备方法

Libo Zhao (Erfinder/-in), Jiawang Zhang (Erfinder/-in), Zhikang Li (Erfinder/-in), Jie Li (Erfinder/-in), Dejiang Lu (Erfinder/-in), Yihe Zhao (Erfinder/-in), Tingzhong Xu (Erfinder/-in), Zhuangde Jiang (Erfinder/-in)

    Publikation: Schutzrecht › Patent

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    Ingenieurwesen & Materialwissenschaft