一种组合式薄膜pMUTs及其制备方法

Libo Zhao (Erfinder/-in), Tingzhong Xu (Erfinder/-in), Zhikang Li (Erfinder/-in), Shuaishuai Guo (Erfinder/-in), Jie Li (Erfinder/-in), Yihe Zhao (Erfinder/-in), Yulong Zhao (Erfinder/-in), Zhuangde Jiang (Erfinder/-in)

    Publikation: SchutzrechtPatent

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    Ingenieurwesen & Materialwissenschaft