一种组合式变刚度薄膜pMUTs及其制备方法

Junpeng Ji (Erfinder/-in), Minyu Bai (Erfinder/-in), Tingzhong Xu (Erfinder/-in), Yuan Li (Erfinder/-in)

    Publikation: Schutzrecht › Patent

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    Ingenieurwesen & Materialwissenschaft