一种多功能薄膜高灵敏度CMUTs气体传感器及其制备方法

Zhikang Li (Erfinder/-in), Libo Zhao (Erfinder/-in), Guoxi Luo (Erfinder/-in), Yihe Zhao (Erfinder/-in), Jie Li (Erfinder/-in), Tingzhong Xu (Erfinder/-in), Shuaishuai Guo (Erfinder/-in), Zichen Liu (Erfinder/-in), qinxiang jia (Erfinder/-in), shubei wang (Erfinder/-in), Zhuangde Jiang (Erfinder/-in)

    Publikation: Schutzrecht › Patent

    Fingerprint

    Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „一种多功能薄膜高灵敏度CMUTs气体传感器及其制备方法“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

    Ingenieurwesen & Materialwissenschaft