一种具有t形空腔结构的空气耦合cmut及其制备方法

Zhikang Li (Erfinder/-in), Libo Zhao (Erfinder/-in), Yihe Zhao (Erfinder/-in), Jie Li (Erfinder/-in), Tingzhong Xu (Erfinder/-in), Guoxi Luo (Erfinder/-in), Shuaishuai Guo (Erfinder/-in), Zhuangde Jiang (Erfinder/-in)

    Publikation: Schutzrecht › Patent

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    Ingenieurwesen & Materialwissenschaft