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Impact of Precursor Chemistry on the Selectivity in Pb(Zr1-xTix)O3 ICP-RIE Etching
Madeleine Petschnigg (Redner), Sarah Risquez (Redner), Syed Munir Azeem (Redner), Annalisa De Pastina (Redner), Anton Lagosh (Redner) & Nikolai Andrianov (Redner)
13 Juni 2023Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Vortrag