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Robin Kaufhold, MSc
M.Sc.
JUNIOR WISSENSCHAFTLER
,
Heterogeneous Integration Technologies (HIT)
https://orcid.org/0000-0002-6677-7686
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Papier
Soft mask-based dry etching of parylene AF4 for advanced packaging applications
Bellaredj, M. L. F.
,
Andrianov, N.
,
Kaufhold, R.
&
Miskovic, G.
,
18 Jän. 2023
,
S. 109
.
113 S.
Publikation
:
Konferenzbeitrag
›
Papier
›
Begutachtung
packaging
100%
masks
81%
etching
71%
photoresists
50%
argon
24%