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Dr. Clément Fleury
SENIOR WISSENSCHAFTLER
,
Integrated Photonics Technologies (IPT)
Frühere Beschäftigte
SENIOR WISSENSCHAFTLER
,
Integrated Photonics Technologies (IPT)
https://orcid.org/0000-0002-3007-0566
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Ähnliche Profile
(11)
Publikationen
23
Artikel
15
Papier
11
Konferenzartikel
3
Poster
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Publikationen pro Jahr
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(aufsteigend)
Erscheinungsjahr, Titel
Titel
Typ
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Suchergebnisse
Poster
Fabrication of high-aspect-ratio α-Si pillar photonic crystalcoupled plasmonic waveguide for on-chip gas sensing
Zhai, Y.
,
Dubois, F.
,
Dao, T. D.
,
Spettel, J.
,
Sasaki, T.
,
Jannesari, R.
,
Pühringer, G.
,
Andrianov, N.
,
Vojkuvka, L.
,
Fleury, C.
,
Consani, C.
,
Stocker, G.
,
Grille, T.
,
Saeidi, P.
,
Jakoby, B.
,
Moridi, M.
&
Tortschanoff, A.
,
2022
.
Publikation
:
Konferenzbeitrag
›
Poster
›
Begutachtung
high aspect ratio
100%
chips
73%
photonics
64%
waveguides
62%
fabrication
56%
Wide-spectral range DUV – MIR spectroscopic ellipsometry study of PECVD-grown silicon oxide and nitride thinfims: Wide-spectral range DUV – MIR spectroscopic ellipsometry study of PECVD-grown silicon oxide and nitride thinfims
Azeem, S. M.
,
Spettel, J.
,
Nikolai, A.
,
Streque, J.
,
Cassese, T.
,
Pilz, J.
,
Solonenko, D.
,
Fleury, C.
,
Dubois, F.
,
Zhai, Y.
,
Cselyuszka, N.
,
Tortschanoff, A.
,
Moridi, M.
&
Dao, T. D.
,
2022
.
Publikation
:
Konferenzbeitrag
›
Poster
›
Begutachtung
silicon oxides
100%
ellipsometry
92%
silicon nitrides
92%
nitrides
88%
vapor deposition
72%
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