Originalsprache | Englisch (Amerika) |
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Fachzeitschrift | physica status solidi (a) |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 8 Apr. 2020 |
Extern publiziert | Ja |
ZnO Thin Films Grown by Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposition: Material Properties Within and Outside the “Atomic Layer Deposition Window”
Julian Pilz, Alberto Perrotta, Günther Leising, Anna Maria Coclite
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