ZnO Thin Films Grown by Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposition: Material Properties Within and Outside the “Atomic Layer Deposition Window”

Julian Pilz, Alberto Perrotta, Günther Leising, Anna Maria Coclite

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelBegutachtung

OriginalspracheEnglisch (Amerika)
Fachzeitschriftphysica status solidi (a)
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 8 Apr. 2020
Extern publiziertJa

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