Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Fachzeitschrift | Micromachines |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2020 |
Wafer-level vacuum-packaged translatory MEMS actuator with large stroke for NIR-FT spectrometers
T. Sandner, E. Gaumont, T. Graßhoff, A. Rieck, T. Seifert, G. Auböck, J. Grahmann
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