Variable-spot ion beam figuring

Lixiang Wu; K. Q. Qiu; S. J. Fu

doi:10.1016/j.nimb.2016.01.009

Variable-spot ion beam figuring

Lixiang Wu, K. Q. Qiu, S. J. Fu

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	Englisch
Fachzeitschrift	Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-Beam Interactions with Materials and Atoms
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.nimb.2016.01.009
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2016
Extern publiziert	Ja

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10.1016/j.nimb.2016.01.009

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Dieses zitieren

TY - JOUR

T1 - Variable-spot ion beam figuring

AU - Wu, Lixiang

AU - Qiu, K. Q.

AU - Fu, S. J.

PY - 2016

Y1 - 2016

UR - http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=ORCID&SrcApp=OrcidOrg&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=WOS:000370898100012&KeyUID=WOS:000370898100012

U2 - 10.1016/j.nimb.2016.01.009

DO - 10.1016/j.nimb.2016.01.009

M3 - Article

JO - Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-Beam Interactions with Materials and Atoms

JF - Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-Beam Interactions with Materials and Atoms

ER -