Resonant PZT MEMS Mirror with Segmented Electrodes

Adrien Piot, Jaka Pribosek, Jordan Maufay, Johannes Schicker, Andreas Tortschanoff, Ramin Matloub, Paul Muralt, Mohssen Moridi

Publikation: KonferenzbeitragPapierBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
Seiten517-520
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - Jän. 2020
Veranstaltung2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) - Vancouver, BC, Canada
Dauer: 18 Jän. 202022 Jän. 2020

Konferenz

Konferenz2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Zeitraum18/01/2022/01/20

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