Piezoelectric Properties of Zinc Oxide Thin Films Grown by Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposition

Taher Abu Ali, Julian Pilz, Philipp Schäffner, Markus Kratzer, Christian Teichert, Barbara Stadlober, Anna Maria Coclite

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelBegutachtung

Originalspracheundefiniert/unbekannt
Fachzeitschriftphysica status solidi (a)
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PublikationsstatusVeröffentlicht - 22 Nov. 2020
Extern publiziertJa

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