Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Fachzeitschrift | physica status solidi (a) |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 22 Nov. 2020 |
Extern publiziert | Ja |
Piezoelectric Properties of Zinc Oxide Thin Films Grown by Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposition
Taher Abu Ali, Julian Pilz, Philipp Schäffner, Markus Kratzer, Christian Teichert, Barbara Stadlober, Anna Maria Coclite
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