Originalsprache | Englisch |
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Fachzeitschrift | Microelectronic Engineering |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2018 |
Nano-porous aluminum oxide membrane as filtration interface for optical gas sensor packaging
Y. Ma, J. Kaczynski, C. Ranacher, A. Roshanghias, M. Zauner, B. Abasahl
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