Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Titel | 21st IMEKO TC2 Symposium on Photonics in Measurement |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2013 |
MEMS-mirror tilt-detection based on a quadrant diode scheme
A. Tortschanoff, M. Baumgart, D. Holzmann, M. Lenzhofer, Ch Mayer, T. Sandner
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung