Liquid dielectric electrostatic MEMS switch and method of fabrication thereof

Mohammed Affan Zidan (Erfinder/-in), King Abdullah University of Science Technology (Erfinder/-in), Khaled Nabil Salama (Erfinder/-in)

Publikation: SchutzrechtPatent

OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 1 Feb. 2020
Extern publiziertJa

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