Impurity detection in polymer parts for the semiconductor manufacturing industry

T. Moldaschl; T. Arnold; M. Zauner; S. Meislitzer; D. Obersteiner; M. De Biasio; J. Steinbrener; L. Neumaier; A. Molzbichler; H. Cramer; B. Ottersböck; G. Oreski; Y. Voronko; M. Kraft; C. Hirschl

doi:10.1515/teme-2018-0056

Impurity detection in polymer parts for the semiconductor manufacturing industry

T. Moldaschl, T. Arnold, M. Zauner, S. Meislitzer, D. Obersteiner, M. De Biasio, J. Steinbrener, L. Neumaier, A. Molzbichler, H. Cramer, B. Ottersböck, G. Oreski, Y. Voronko, M. Kraft, C. Hirschl

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	Englisch
Fachzeitschrift	Technisches Messen
DOIs	https://doi.org/10.1515/teme-2018-0056
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2018

Zugriff auf Dokument

10.1515/teme-2018-0056

Andere Dateien und Links

http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85053168584&partnerID=MN8TOARS

Dieses zitieren

@article{bee7780641564a1d82e71ee5943e216f,

title = "Impurity detection in polymer parts for the semiconductor manufacturing industry",

author = "T. Moldaschl and T. Arnold and M. Zauner and S. Meislitzer and D. Obersteiner and {De Biasio}, M. and J. Steinbrener and L. Neumaier and A. Molzbichler and H. Cramer and B. Ottersb{\"o}ck and G. Oreski and Y. Voronko and M. Kraft and C. Hirschl",

year = "2018",

doi = "10.1515/teme-2018-0056",

language = "English",

}

TY - JOUR

T1 - Impurity detection in polymer parts for the semiconductor manufacturing industry

AU - Moldaschl, T.

AU - Arnold, T.

AU - Zauner, M.

AU - Meislitzer, S.

AU - Obersteiner, D.

AU - De Biasio, M.

AU - Steinbrener, J.

AU - Neumaier, L.

AU - Molzbichler, A.

AU - Cramer, H.

AU - Ottersböck, B.

AU - Oreski, G.

AU - Voronko, Y.

AU - Kraft, M.

AU - Hirschl, C.

PY - 2018

Y1 - 2018

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85053168584&partnerID=MN8TOARS

U2 - 10.1515/teme-2018-0056

DO - 10.1515/teme-2018-0056

M3 - Article

JO - Technisches Messen

JF - Technisches Messen

ER -