Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Titel | 2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2015 |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2015 |
Functional MOEMS packaging with optical position feedback
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung