Finely control groove-depth variations of large-area diffraction gratings

university of science and technology china, K. Q. Qiu, X. L. Jiang, Y. C. Zheng, X. D. Xu, Y. L. Hong, S. J. Fu

Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/BerichtKapitelBegutachtung

Originalspracheundefiniert/unbekannt
TitelAdvanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics Viii
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2015
Extern publiziertJa

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