Closed-loop control driver for quasi-static MOEMS mirrors

Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung

Originalsprache	Englisch
Titel	MOEMS and Miniaturized Systems XII
Band	12
DOIs	https://doi.org/10.1117/12.2004167
Publikationsstatus	Veröffentlicht - März 2013

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@inproceedings{63cd9d5f7e4440d892db72b564d5eb25,

title = "Closed-loop control driver for quasi-static MOEMS mirrors",

author = "Andreas Tortschanoff and Dominik Holzmann and Martin Lenzhofer and T. Sandner and Andreas Kenda",

year = "2013",

month = mar,

doi = "10.1117/12.2004167",

language = "English",

volume = "12",

booktitle = "MOEMS and Miniaturized Systems XII",

}