Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Titel | Smart Systems Integration 2016 - International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems, SSI 2016 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2016 |
Characterization of mid IR photonic MEMS
F.J. Maier, C. Consani, C. Ranacher, A. Kenda, M. Gröschl, A. Tortschanoff
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung