Application of a micromachined translatory actuator to an optical FTIR spectrometer

Andreas Kenda, Albert Frank, Martin Lenzhofer, Werner Scherf

Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung

OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - Apr. 2006
VeranstaltungMEMS, MOEMS and Micromachining II : Proceedings of SPIE -
Dauer: 1 Jän. 2006 → …

Konferenz

KonferenzMEMS, MOEMS and Micromachining II
Zeitraum1/01/06 → …

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