Originalsprache | Englisch |
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Fachzeitschrift | Journal of Optics |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2015 |
Extern publiziert | Ja |
Algorithms for finely adjusting etch depths to improve the diffraction efficiency uniformity of large-aperture BSG
Lixiang Wu, K. Q. Qiu, Y. Liu, S. J. Fu
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