A Novel Peninsula-island Structure for Sensing Ultra-low Pressure Based on Dry-wet Combination Etching Process

Mimi Huang, Libo Zhao, Tingzhong Xu, Chen Jia, Ping Yang, Zhikang Li, Hongyan Wang, Yongshun Wu, Zhuangde Jiang

    Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/BerichtKapitelBegutachtung

    Fingerprint

    Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „A Novel Peninsula-island Structure for Sensing Ultra-low Pressure Based on Dry-wet Combination Etching Process“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

    Physik & Astronomy