Intelligente Sensorsysteme in der Halbleitermaschinenproduktion für prädiktive Instandhaltung

Hirschl, Christina (Leitende(r) Forscher/-in)

Sensor Systems

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2020

Automatic Anomaly Detection on In-Production Manufacturing Machines Using Statistical Learning Methods
Pittino, F., Puggl, M., Moldaschl, T. & Hirschl, C., 20 Apr. 2020, in: Sensors.
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