Intelligente Sensorsysteme in der Halbleitermaschinenproduktion für prädiktive Instandhaltung

Akronym	SensSemicon
Status	Abgeschlossen
Tatsächlicher Beginn/ -es Ende	1/01/18 → 30/11/19

Automatic Anomaly Detection on In-Production Manufacturing Machines Using Statistical Learning Methods
Pittino, F., Puggl, M., Moldaschl, T. & Hirschl, C., 20 Apr. 2020, in: Sensors.
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Projektdetails