Publikationen pro Jahr
Publikationen pro Jahr
Projektdetails
| Akronym | ASSIC-2.1 |
|---|---|
| Status | Abgeschlossen |
| Tatsächlicher Beginn/ -es Ende | 1/01/19 → 31/12/22 |
Fingerprint
Erkunden Sie die Forschungsthemen, die von diesem Projekt angesprochen werden. Diese Bezeichnungen werden den ihnen zugrunde liegenden Bewilligungen/Fördermitteln entsprechend generiert. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.
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Efficient Xe Filling of MEMS Vapor Cells Empowered by Customized Triple Stack Wafer Bond Processing
Roshanghias, A., Kaczynski, J., Rodrigues, A., Hübner, M., Zauner, M., Grosso, G., Andrianov, N., Khan, M., Grömer, T., Fuchs, T. & Binder, A., 29 Sep. 2023, in: ECS Transactions.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
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Soft mask-based dry etching of parylene AF4 for advanced packaging applications
Bellaredj, M. L. F., Andrianov, N., Kaufhold, R. & Miskovic, G., 18 Jän. 2023, S. 109. 113 S.Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung
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Adhesion evaluation of parylene AF4 to silicon and glass substrate
Sinani, T. & Miskovic, G., 4 Juli 2022, 2022 45th International Spring Seminar on Electronics Technology .Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung
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Spectroscopic ellipsometry study of parylene AF4
Solonenko, D., Petschnigg, M., Dao, T. D. & Miskovic, G., 4 Juli 2022, 2022 45th International Spring Seminar on Electronics Technology (ISSE).Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung