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Closed-loop control for quasi-static MOEMS mirrors
Tortschanoff, A.
,
Holzmann, D.
,
Lenzhofer, M.
&
Sandner, T.
,
9 Feb. 2012
,
MOEMS and Miniaturized Systems XI.
S. 82520T
(MOEMS and Miniaturized Systems XI; Band 8252).
Publikation
:
Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht
›
Kapitel
›
Begutachtung
MOEMS
100%
Microcontrollers
31%
Bandwidth
19%