Highly textured AlN and Al0.7Sc0.3N piezoelectric thin films with Hf(0002) seed layer

  • Sarah Risquez (Redner)

Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Vortrag

Zeitraum16 Aug. 2022
Ereignistitel9th International PiezoMEMS Workshop 2022
VeranstaltungstypWorkshop
OrtPhiladelphia, USA/Vereinigte StaatenAuf Karte anzeigen

Dokumente & Verweise